有机集成电路教育部重点实验室仪器平台
- 扫描电镜(SEM)
- 扫描隧道显微镜(STM)
- 原子力显微镜(AFM)
- 手套箱(Glove box)
- 半导体性能表征系统(Keithley 4200-SCS Semiconductor Characterization System)
- 光伏测试系统(Solar cell efficiency measurement system)
- 真空蒸镀系统(Vacuum deposition system)
- 甩膜仪(Spin coater)
- 烘箱(Oven)
- 紫外臭氧清洗仪(UVO)
- 电池量子效率测试系统(EQE measurement system)
- 综合物性测量系统(PPMS)
- 薄膜衍射仪(Powder-XRD)
- 单晶衍射仪(Crystal XRD)
- 计算平台(Computational platform)
- 物理/化学气相沉积系统(Physical/chemical vapor deposition system)
- 等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)